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| 潔凈室的防靜電與防火防爆 |
| 瀏覽次數：2021 次 發布時間：2021-08-14 |
一、潔凈室的靜電和靜電的消除
1、靜電的危害
a、靜電產生電場能擊穿電子和微電子產品造成廢品；靜電放電產生電磁波會引起電子儀器（計算機和控制設備）的誤動作，放電產生火花可使感光材料曝光。
b、潔凈室內靜電的帶電體，灰塵會依附在其表面，成為潔凈室的污染源，影響潔凈室的潔凈度。
c、潔凈室的靜電聚集放電會誘發引起火災和爆炸影響潔凈室的安全。因為潔凈室內生產會使用大量的易燃易爆的氣體，溶劑和有機物，潔凈室封閉性很強，人員疏散較困難造成火災，損失更大。
2、靜電的起因
由于某種原因引起電荷移動，正負電荷失去平衡，這樣物體就帶有靜電，造成電荷移動的因素主要有：
a、接觸帶電：其中還包括有磨擦帶電、滾動帶電、剝離帶電、噴射帶電等。
b、感應帶電
c、流動帶電
d、電暈帶電
3、防靜電措施
a、潔凈室圍護的防靜電：即用高導電率材料來建造潔凈室的圍護（墻、頂、地）地面要采用由電阻值為104~106Ω導靜電材料或電阻值為106~109Ω的抗靜電材料制作。主要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為106~108Ω的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。并要有良好的接地。
b、人員的防靜電：潔凈室的作業人員要穿防靜電的潔凈工作服，在衣服的織物中加入金屬纖維、碳素纖維等導電材料。必要時作業人員手腕上配帶接地腕環。
c、生產工藝允許時還可以用提高潔凈室內空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。
二、潔凈室的防火和防爆
1、潔凈室防火的重要性
（1）潔凈室是密閉廠房。一般情況下不設外門、外窗，越是凈化級別高其位置越在核心中間部位的無窗密閉廠房。如果出現火情，不僅財產會受很大損失，更重要的是人員難以疏散會有人員的傷亡。
（2）潔凈室是重要的科研和生產場所，生產會使用大量的易燃、易爆的氣體、溶劑和有機物質，同時也還會使用大量的有毒有害物質，一旦發生火災，后果不堪設想。
（3）潔凈室是為高科技服務，不僅僅潔凈室本身的建造費用高（2000~10000元/m2），而且潔凈室內的生產設備的價格更高，有的微電子設備每臺都數百萬美元。如果發生火災，財產損失慘重。集上述一些因素，潔凈室的防火是十分重要的。
2、潔凈室的防火措施
（1）建筑結構的材料應用不燃材料制作。潔凈室的裝修材料也應采用不燃材料制作。應嚴格按“潔凈廠房設計規范”中5.2“防火和疏散”一節的要求執行。
（2）生產工藝要盡量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必須使用，盡量采取密封措施不散放出來，并且加強通風換氣。工藝生產使用易燃易爆氣體時建議在氣源瓶和使用設備中間加一個“中間分配箱”，使正常情況下是與易燃易爆有毒有害氣源是處于斷開的狀況。
（3）采取必要的報警和滅火措施
1）加強早期報警。采用空氣采樣器和感溫探頭系統聯合進行報警，實現對陰火和明火的早期報警（空氣采樣器對陰火非常敏感，感溫探頭對明火非常敏感）。
2）設置室內外消火栓和潔凈室自動噴淋滅火系統。
①潔凈室應有完善的室外消火栓滅火系統。
②在潔凈室的室內和上技術夾層、下技術夾層均設置完善的室內消火栓滅火系統和預作用水噴灑滅火系統。在正常情況下預作用噴灑系統管道內是充滿壓縮空氣，當探頭報警后，該系統啟動水泵并排氣充水，當火災發生后，著火處燒破玻璃泡水自動噴灑出來滅火。
3）設置疏散排煙系統
①按“潔凈廠房設計規范”GB50073-2001要求潔凈室的疏散走廊應設排煙或防煙系統保證人員的疏散安全。
②利用工藝設備的排風系統和空調凈化系統兼作火災時的排煙系統以利人員疏散目的。
③按消防部門或保險單位的要求，必要時還要設計潔凈室的全面排煙系統。
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